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化學機械研磨工藝中的銅腐蝕研究-《復旦大學》2009年碩士論文

銅在化學機械研磨面臨的銅腐蝕問題使得產品良率和可靠性都受到威脅。本文通過實驗,量化研究了生產過程中的防腐蝕問題,并通過實驗得到了局部的腐蝕防止辦法,研磨前的。

RTPC在銅化學機械研磨工藝中的應用-《集成電路應用》2009年11期

研磨過程光學信號工藝要求反射率銅薄膜晶圓控制系統剖面工藝參數嵌入式關鍵詞:研磨過程光學信號工藝要求反射率銅薄膜晶圓控制系統剖面。

八英寸銅化學機械研磨工藝對硅片腐蝕的改善-收費碩士博士論文-

論文天下提供的<八英寸銅化學機械研磨工藝對硅片腐蝕的改善;論文包括Cu-CMP腐蝕缺陷研磨頭研磨盤等其他相關內容論文。

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[圖文]2011年4月28日-利用SEM和XRD考察了玻璃球數量與震蕩頻率對機械研磨電鍍工藝的影響,并探討在電沉積過程中,燒杯內的玻璃球不斷在試樣表面運動,施加機械研磨。1。

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[圖文]2012年5月14日-水平震蕩機械研磨電鍍銅層具有擇優取向,但擇優取向程度受水平震蕩條件影響。1)在傳統酸性鍍銅過程中,施加水平震蕩機械研磨可使鍍層晶粒顯著均勻細化,。

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鉬礦選礦浮選及研磨工藝流程作者:金馬機械日期:2012-8-6瀏覽次數:175標簽為保證鉬精礦質量,對鉬精礦中所含的銅、鉛、鐵等重金屬礦物和氧化鈣以及炭質。

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本發明公開了一種在銅化學機械研磨工藝中減少晶片被腐蝕的方法,它可以在晶片等待從研磨設備轉移到清洗裝置期間,有效的清洗掉黏附在晶片上的研磨液,進而達到防止研磨。

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所屬區域:河南省鄭州市關鍵詞:工藝流程選銅設備項目簡介河南鼎豐機械經過球磨機研磨的礦石細料進入下一道工序:分級。螺旋分級機借助固體顆粒的比重。

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而采用上述鍍銅溶液進行化學鍍銅的工藝方法,其工藝流程即為:塑料板材粗化活化→007一種用于銅制程的化學機械研磨液組合物090銅化學機械研磨方法039用于。

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銅互連和低K材料是半導體深亞微米工藝中涉及的兩個重要的技術,而這兩種新技術的發展也給傳統的化學機械研磨(CMP)工藝提出了挑戰。

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本文針對先進銅互連技術中存在的一些問題,具體研究了銅化學機械研磨工<br/;藝的特性,提出了幾種工藝優化方法,使得產品通過了終的可靠性驗證。全文<br/;得到的。

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先進銅化學機械研磨技術半導體工藝突破65nm節點出自《EDNCHINA電子設計技術》2004年第8期。該刊暫未被《中文科技期刊數據庫》收錄,故無法提供全文下載。

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